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发布时间:2018-11-01  来源: http://www.myfrantv.com/news/36.html
      平面靶材厂家告诉你关于靶材的知识
      大家都很好奇什么是靶材,靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。

      靶材大致分为以下种类:金属溅射镀膜靶材,合金溅射镀膜靶材,陶瓷溅射镀膜靶材,硼化物陶瓷溅射靶材,碳化物陶瓷溅射靶材,氟化物陶瓷溅射靶材,氮化物陶瓷溅射靶材,氧化物陶瓷靶材,硒化物陶瓷溅射靶材,硅化物陶瓷溅射靶材,硫化物陶瓷溅射靶材,碲化物陶瓷溅射靶材,其他陶瓷靶材,掺铬一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO),磷化铟靶材(InP),砷化铅靶材(PbAs),砷化铟靶材(InAs)。

      靶材的特点:纯度极高。普通的材料纯度大概为99.9%左右,而作为靶材,纯度一般要求为99.99%(4N)以上。其次,靶材对金属纯度要求极高,尤其是半导体行业,达到了5N(99.999%)以上。因此靶材质量的影响决定了其下游产品的良率及成本,其质量越高,下游行业的成本越低,效率越高。近些年来,国家对靶材的重视程度越来越高,出台的相对应的政策也越来越多。

      航天长征睿特科技环球彩票特种金属材料及工艺事业部,是在航天用粉末冶金产品的研究成果和生产技术的基础上,成立的专业从事溅射靶材研发和生产的高新技术单位,可以为广大客户提供质量稳定、成分多样、规格系列化的溅射靶材产品,且可以按照客户的要求生产各种靶材并提供靶材绑定服务。欢迎大家咨询。

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