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文章来源:http://www.myfrantv.com/supply/6.html发表时间:2018/7/4 0:00:00

合金靶材厂家预溅射建议采用纯氩气进行溅射,可以起到清洁靶材表面的作用。靶材进行预溅射时建议慢慢加大溅射功率,合金靶材厂家陶瓷类靶材的功率加大速率建议为1.5W小时/平方厘米。合金靶材厂家金属类靶材的预溅射速度可以比陶瓷靶材块,一个合理的功率加大速率为1.5W小时/平方厘米。合金靶材厂家在进行预溅射的同时需要检查靶材起弧状况,合金靶材厂家预溅射时间一般为10分钟左右。如没有起弧现象,继续提升溅射功率到设定功率。根据经验,金属靶材可承受的最大溅射功率为25watts/平方厘米,陶瓷靶材为10watts/平方厘米。

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